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致力于先进生物与化学传感技术解决方案
◆ 全面定制化服务
◆ 专业研发团队
◆ 先进设备
◆ 高效生产
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提供气体检测仪表从设计、加工与测试，包括传感器芯片的封装与探测器的制造，仪器仪表结构的设
计与开发等。
拥有专业的研发团队负责工艺开发，可为客户提供最先进、最合适的工艺方案
使用进口设备，图形精度可控制在1um，套刻精度0.5um，确保加工质量和精度
拥有完整的半导体加工产线，可快速、高效地完成生产任务，缩短客户的产品研发周期
提供气体检测仪表从设计到加工到测试的全链条定制化服务
| 材料 | 碳纳米管或其它半导体薄膜材料 |
| 光刻机性能 | 线条精度1um |
| 可镀金属 | Ti、Pd、Au、Y、Ag等 |
| 绝缘介质 | 氧化铪、氧化钇等 |
| 可刻蚀材料 | 常见氧化物 |
| 加工尺寸 | 4英寸向下兼容 |
| 生产环境 | 百级无尘室 7*24小时 |
| 亚阈值摆幅 | ≤150mV/dec |
| 开关比 | ≥10^5 |
| 器件回滞 | ≤50mV |
